Halbleiterhersteller validieren High-NA-Lithografie für nächste Prozessknoten
Erste Testwafer mit hochentwickelter EUV-Optik zeigen präzise Leitungsstrukturen und geringere Wärmeentwicklung.
Erste Testwafer mit hochentwickelter EUV-Optik zeigen präzise Leitungsstrukturen und geringere Wärmeentwicklung.
Forscher in Greifswald erreichen störungsfreien Dauerbetrieb des Magnetfelds bei Rekordtemperaturen.